第610章 国产光刻机的研发进程，至少缩短了（2 / 2）

有人面露难色地担忧道。

林南皱起眉头，看向设备组的主任工程师问道：「蔡司镀膜机在恒温恒湿环境下，能不能把精度稳定控制在0.05到0.1纳米之间？」

设备组的主任工程师想了想，非常严谨地回答道：「连续沉积10层钼矽膜，厚度误差最小0.04纳米，最大0.09纳米，刚好能满足方案要求。

但问题是，每次换靶材丶调整雷射功率时，误差会出现0.12到0.15纳米的波动，80次沉积下来，累积误差可能会超标。」

林南思索片刻，给了一条解决思路：「那就加一道实时校准的流程，算法组先开发一套膜厚监测程序，跟镀膜机的传感器联动，每沉积10层，就自动暂停，用电子显微镜扫描膜厚。

根据实测数据调整下一轮的雷射功率和沉积时间，把单次误差控制在0.05纳米以内。

另外，在镀膜机周围加一圈恒温罩，避免温度的负面影响。」

其他人闻言，顿时豁然明悟。

林南毕竟是沪城光学精密机械研究所的高级工程师，能力和技术兼而有之，又是胡锐晖极力推荐的人才，关键时刻能拿出行之有效的方案倒也正常。

事实上，在陈延森看来，像林南等人，智商丶领悟力和创造力都不错，但苦于接触不到EUV光学的顶尖技术，这才像是鬼打墙似的，一直绕弯路。

若是能拥有同等的科研环境，林南未必开发不出一套收集镜系统，可很多事终究没有如果。

而陈延森能搞定这项技术，靠的也是远超常人百倍的精神力，以及能让他进入超频思维状态的【普朗克时钟】天赋。

不然以他原本的能力，或许也能突破这项技术，但要花费的时间，绝对不止半个月。

在拿到「多壳层掠入射椭圆收集镜系统」的技术方案后，星源科技光学部上下，立刻投入全部精力，以最快的速度反覆打磨丶全力复现，力求将这套系统成功应用到实际生产中。

算法组连夜加班，三天内就完成了膜厚监测程序的开发。

该程序可以实时采集镀膜机的雷射功率丶沉积时间数据，还能自动生成膜厚误差曲线，当误差超过0.05纳米时，将会触发暂停指令，进而对精度进行实时校准。

由于研发中心还有大量光电所的工程师，所以科学协会的大佬们，没过多久就得知了星源科技的技术突破。

「老胡，你帮我问问，星源科技还缺不缺人？」

沪城光学精密机械研究所的汪象朝，主动拨通了胡锐晖的电话，支支吾吾地说道。

「什麽意思？你想辞职？开什麽玩笑！」

胡锐晖反问道。

汪象朝可是沪城光学精密机械研究所的中流砥柱，主要的研究方向都在EUV光源领域，前后申请了170馀项专利，妥妥的行业大牛。

「老胡啊，星源科技连自研的收集镜系统都弄出来了，你知道这意味着什麽吗？再往下走，光源系统就能彻底打通，一旦完成双工件台的研发工作，第一台国产EUV光刻机就有了技术根基，你明白吗？」

汪象朝拿着电话，接连问道。

「老汪，你都一把年纪了……」

胡锐晖幽幽说道。

「放屁！六十岁，正是拼搏的年纪！算了，我还是找林南吧，不管怎麽说，我也是他的老领导。」

汪象朝见胡锐晖推三阻四的样子，瞬间气不打一处来。

按理说，他找林南更方便，却有点抹不开面子。

「这套系统的影响力有这麽大吗？」

胡锐晖是晶片设计工程师，对EUV光刻技术自然了解，但仅限于表面。

比如一个人吃过蛋糕，也知道这玩意是用哪些材料制作的，但制作步骤和细节是什麽，他就不清楚了。

「国产光刻机的研发进程，至少缩短了十年！」

汪象朝语气笃定地给出评价。

胡锐晖深知汪象朝性格严谨，绝不会信口开河，他深吸一口气，终于意识到星源科技的变态之处。

消息层层上报，一份详尽的调查文件，迅速递到了李青松的办公桌上。

「保密管控，再把光学丶双工件台和调平调焦领域的科研人员，抽调一部分送去星源科技。」

研讨会是上午开的，决议是当天生效的。

国产EUV光刻机的诱惑力太大了！

只要参与其中，便能从中捞取一份足以载入史册的功绩，这种机会，谁也不愿错过。

李青松的决议下达后，全国范围内的科研资源开始向星源科技汇聚。

三天后，来自沪城光学精密机械研究所丶华科协会渖阳自动化所丶国防科大等协会的87名专家陆续抵达庐州。

既有汪象朝这样深耕EUV领域数十年的行业泰斗，也有在双工件台丶调平调焦系统研发中崭露头角的青年骨干。

就连华卓精科所掌握的65纳米制程双工件台技术，都被送去了沪城。

(本章完)